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离子束加工技术
聚焦
离子束
微纳
加工技术
(电子束离子束光子束微纳加工技术系列专著)内容...
答:
离子束微纳
加工技术
,作为一门精细的材料处理技术,是通过利用带电离子与工件表面的物理和化学反应,实现微米和纳米级别的精确加工。这一技术主要分为常规和聚焦两种形式。其中,聚焦
离子束加工
因其多功能性与高分辨率,近年来在纳米科技和半导体集成电路产业的飞速发展中备受瞩目,成为了微纳米加工领域的关键...
离子束
铣削(Ion Beam milling)
答:
离子束
铣削:精密薄膜
技术
的革新</ 在精密微电子、光学元件制造以及材料科学研究的前沿,一种名为离子束铣削 (Ion Beam milling) 的薄膜技术正崭露头角。它是一种独特的材料去除工艺,通过离子源的力量在基板上创造出极致的附着力和三维结构的精确形态。原理与运作</ 离子束铣削基于动能转移的蚀刻原理,...
聚焦
离子束
(FIB)技术的工作原理以及他在微纳
加工技术
上的主要应用是什么...
答:
FIB系统的工作原理:FIB 技术是利用静电透镜将
离子束
聚焦成极小尺寸的显微切割技术,目前商用FIB 系统的粒子束是从液态金属离子源中引出.聚焦离子束技术在微纳
加工技术
上的主要应用:FIB 技术是当今微纳加工和半导体集成电路制造业十分活跃的研究领域.由于它集材料刻蚀、沉积、注入、改性于一身, 有望成为高...
离子束加工
跟等离子体加工的原理有何不同
答:
1、
离子束加工
的基本原理 所谓离子束抛光,就是把惰性气体氩、氮等放在真空瓶中,用高频电磁振荡或放电 等方法对阴极电流加热,使之电离成为正离子,再用 5 千至 10 万伏高电压对这些正离 子加速,使它们具有一定的能量。利用电子透镜聚焦,将它们聚焦成一细束,形成高能 量密度离子流, 在计算机的...
离子束加工
的特点是什么?
答:
o1、是一种精密微细的
加工
方法.2、非接触式加工,不会产生应力和变形.3、加工速度很快,能量使用率可高达90%.4、加工过程可自动化.5、在真空腔中进行,污染少,材料加工表面不 氧化.6、电子束加工需要一整套专用设备和真空系 统,价格较贵.
离子束加工
的介绍
答:
离子束加工
的原理和电子束加工基本类似,也是在真空条件下,将离子源产生的离子束经过加速聚焦,使之撞击到工件表面。离子束的加工装置主要由包括离子源、真空系统、控制系统和电源等。
电子束和
离子束
分别可用于哪些微纳
加工
工艺
答:
电子束
离子束加工
的发展趋势及应用聚焦的离子束在半导体行业有着重要作用,可用来切割纳米级结构,对光刻
技术
中的屏蔽板进行修补,分离和分析集成电路的各个元件,激活由特殊原子组成的材料,使其具有导电性等等。聚焦的离子束在其他方面也有应用。可用来分析样品化学成分、进行生物研究以及制造保持血管畅通的心脏固定膜等微型...
什么是高能
束加工
?
答:
beam machining定义电子束加工、
离子束加工
、激光束加工的总称。以焦点处集聚的高密度能量进行非接触的加工。应用学科航空科技(一级学科),航空制造工程(二级学科)以上内容由全国科学技术名词审定委员会审定公布利用高能量密度的束流作为热源, 对材料或构件进行加工的先进的特种
加工技术
。
激光加工,电子束和
离子束加工
在原理上有何异同?各有何特点
答:
1、
加工
原理不同。电子束和
离子束
的加工原理相似,都是发生碰撞效应和注入效应,从而实现加工,而激光加工是热效应的原理。2、加工装置不同。电子束和离子束相似,都是通过电子枪装置将电子和离子打出从而对材料进行加工,而激光器是由激光器、电源等组成,与电子和离子不同。3、加工范围不同。电子束...
高能
束加工
是指哪些加工方法?
答:
高能
束加工
是指利用激光束、电子束、
离子束
等高能量密度的束流对材料或构件进行特种加工的
技术
。 这些束流具有高能量密度、快速加工、热影响小等优点,可以实现对各种材料的精密加工。其中,激光加工是利用激光束对材料进行切割、焊接、打标等加工;电子束加工是利用高速电子束对材料进行打孔、切割、焊接等...
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