临沂市审计局的历史可以追溯到1983年，当时原临沂地区县以上的审计机关在政府批准下相继设立。1983年8月，沂水县率先成立了审计局，随后的1984年，郯城、费县、临沭等地的审计局也相继成立，到年底，全地区的13个县市审计局已全部设立。1984年7月，原审计处升格为副县级的临沂地区审计处，编制15人，至1985年11月正式改为临沂市审计局，成为正县级单位。随着1994年撤地设市，临沂市审计局更名为现在的名称，下辖12个县区审计局。
成立之初，审计局内设机构包括人事秘书科、工交财贸审计科等，随着时间的发展，机构不断调整和增设，如增设综合科、外资审计科等，以适应审计工作的需要。目前，临沂市审计局的领导班子由11人组成，包括局长、副局长、纪检组长等职务，人员编制也从1984年的144人增长至363人，拥有丰富的专业人才结构，涵盖了不同年龄层次和教育背景，为审计工作的高效进行提供了坚实保障。
过去20年间，临沂审计局经历了多项荣誉和重大事件，如被评为全国审计机关先进集体、省级文明单位等，同时在粮食清查审计、审计质量年、信息化建设等领域取得了显著成绩，展现出临沂市审计局的不断进步和专业能力。这些成就不仅体现了临沂审计局的发展历程，也反映出其在促进地方经济发展、加强政府监督中的重要作用。
1984年7月，原临沂地区审计处成立，为副县级行政单位。1985年11月，审计处改为审计局，为正县级行政单位。1994年撤地设市，改称为临沂市审计局。临沂市审计局是临沂市人民政府组成部门，主要负责地方政府各部门和所有企事业单位的审计监督工作。