最早成立的是内蒙古自治区 ，成立时间是1947年5月1日，比新中国建立还早两年。其他四个省级自治区成立从早到晚分别为：新疆维吾尔自治区、广西壮族自治区、宁夏回族自治区及西藏自治区。
具体成立时间如下：
1、1955年10月1日，新疆维吾尔自治区成立。
2、1958年3月5日，广西壮族自治区成立。
3、1958年10月25日，宁夏回族自治区成立。
4、1965年9月9日，西藏自治区成立。
扩展资料：
实行民族区域自治制度的原因
1、中国在历史上长期以来就是一个集中统一的国家。在长期的历史发展中，中国境内各民族逐步汇合成了中华民族。
2、长期以来中国的民族分布以大杂居、小聚居为主。长期的经济文化联系，形成了各民族只适宜于合作互助，而不适宜于分离的民族关系。
3、我国人口、资源分布和经济文化发展不平衡。只有实行民族区域自治制度，才有利于各民族的发展和国家的繁荣、昌盛。
4、自1840年以来，中国各民族都面临着反帝反封建、为民族解放而奋斗的共同任务和命运。在共御外敌、争取民族独立和解放的长期斗争中，中国各民族建立了休戚与共的亲密关系。
形成了互相离不开的政治认同。这就为建立一个统一的新中国，并在少数民族地区实行民族区域自治奠定了坚实的政治和社会基础。
参考资料来源：百度百科-少数民族自治区
中国最早成立的少数民族自治区是内蒙古自治区。
一、少数民族自治区：
中国的民族区域自治，是在中华人民共和国领土范围内，在中央政府集中统一领导下，遵循国家宪法的规定，各少数民族以聚居区为基础，建立自治地方，设立自治机关，行使自治权利，享有当家作主，管理本地区本民族内部事务的自治制度。 少数民族自治区就是在这样的条件下建立起来的自治区。
中国的少数民族自治区有五个，分别是：内蒙古自治区、广西壮族自治区、西藏自治区、新疆维吾尔自治区、宁夏回族自治区。
二、建立时间：
1、内蒙古自治区 （1947年5月1日）；
2、 新疆维吾尔自治区 （1955年10月1日）；
3、广西壮族自治区 （1958年3月5日）；
4、宁夏回族自治区 （1958年10月25日）；
5、西藏自治区 （1965年9月9日）。
内蒙古自治区：位于中国北部边疆，总面积约118万平方千米，·是中国第三大省区。但内蒙古自治区刚成立时，：所辖区域为呼伦贝尔、纳文慕仁、兴安、锡林郭：勒、察哈尔盟，计32个旗、1个县、3个县级-市，面积54万平方千米。1954年3月5日，内：蒙古人民政府、绥远省人民政府委员会、绥远军；政委员会、绥远省各界人民代表会议协商委员会·在归绥市（呼和浩特市）联合召开扩大会议，绥远‘省建制和省人民政府同时撤销，原绥远省辖区并：入内蒙古自治区，由内蒙古自治区人民政府领．导，自治区人民政府驻呼和浩特市。1955年7月‘30日，将热河省敖汉、翁牛特、喀喇沁旗和赤峰、宁城、乌丹县划归自治区昭乌达盟。1956年4月3日，将甘肃省巴彦浩特蒙古族自治州和额济纳蒙古族自治旗划归内蒙古，增设巴彦淖尔盟，以原自治州和自治旗的行政区域为盟的行政区域。1969年7月5日，将呼伦贝尔盟、哲里木盟、昭乌达盟分别划归黑龙江、吉林和辽宁三省；将阿拉善左旗、阿拉善右旗、额济纳旗分别划归宁夏和甘肃，1979年5月30日又重新划回内蒙古自治区。
内蒙古自治区是个多民族的自治区，由汉、蒙古、满、回、达斡尔、鄂伦春、鄂温克、朝鲜、俄罗斯等多个民族组成。全区现设呼和浩特、包头、乌海、赤峰、通辽、鄂尔多斯、呼伦贝尔、乌兰察布、巴彦淖尔9个市；兴安、阿拉善、锡林郭勒3个盟；另外有满洲里、二连浩特2个计划单列市；下辖11个县级市、17个县，49个旗，其中包括鄂伦舂、鄂温克、莫力达瓦达斡尔3个少数民族自治旗，总人口2414万，其中蒙古族人口420多万。