干涉仪测量光学系统像差的特点

Question

如题所述

Answer 1

干涉仪测量光学系统像差的特点有大量程、高灵敏度、高精度等。根据查询相关资料信息：干涉测量应用范围十分广泛，可用于位移、长度、角度、面形、介质折射率的变化及振动等。