光谱共焦法是不是真的对表面没任何要求?
本质上讲,光谱共焦位移传感器是同轴测量,就是说发射光和回光在一条轴线上。基于此,不管是漫反射面还是镜面,都可以收到回光。从这个角度上讲,确实比激光三角反射法对被测物表面要求少。但是如果被测物有比较锋利的界面,或者较大颗粒,也可能产生复杂的杂光,或者反射信号波动很大,这种情况可以采用相应滤波方式,但是可能导致测量失真。
德国米铱confocalDT光谱共焦传感器探头