期刊名称Journal of micro/nanolithography, MEMS, and MOEMS
J. MICRO/NANOLITHOGR. MEMS MOEMS
J MICRO-NANOLITH MEM
NANOLITH MEM
J. MICRO-NANOLITHOGR. MEMS MOEMS
1932-5150
2006214529
同行评议:是
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主题分类:
Engineering: Electrical Engineering
期刊历史沿革:
继承了: Journal of microlithography, microfabrication, and microsystems [1537-1646]
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