简述透射电镜主要由几大系统构成

如题所述

在光学显微镜的分辨力限制下,小于0.2µm的细微结构无法被清晰观察,这类结构通常被称为亚显微结构或超微结构。为了解决这个问题,科学家们发明了透射电子显微镜(TEM),它使用电子束作为光源,由于电子的波长远短于可见光,因此TEM能够提供更高的分辨率,目前其分辨力已达到0.2nm级别。
透射电子显微镜的工作原理与投射式光学显微镜相似。两者都通过光源、透镜系统进行图像的放大与成像。尽管光镜和电镜的内部结构远比简化光路图所示复杂,但核心的聚光镜、物镜和投影镜在两者中均扮演关键角色。为了满足高放大率、低畸变和减少像差的需求,电镜的设计中经常在投影镜之上增加额外的中间镜。
透射电子显微镜的构成主要分为镜体和辅助系统两大部分。镜体部分包括:照明系统(如电子枪、聚光镜C1和C2)、成像系统(包括样品室、物镜O、中间镜I1和I2、投影镜P1和P2)、观察记录系统(观察室、照相室)以及调校系统(包括消像散器、束取向调整器、光阑)。辅助系统则包含真空系统(如机械泵、扩散泵、真空阀、真空规)、电路系统(电源变换、调整控制)和水冷系统。
典型的透射电镜电子光学系统由照明系统和成像系统核心构成,这两部分共同工作,将电子束从电子枪发射并会聚在样品上,通过样品后的电子束会携带结构信息,并在经过物镜、中间镜和投影镜的放大后,在荧光屏板上形成可见的电子影像,供观察者使用。接下来,本文将详细介绍这些系统的主要结构和运作原理。
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