扫描电镜(TEM)和透射电镜(SEM)目前在各种材料结构,组织成分以及化学成分等方面研究上应用十分广泛,地位十分重要,其具体的区别如下:
1、电子种类不同。透射电镜收集的是透过样品的电子,扫描电镜是把从样品表面反射出来的电子收集起来并使它们成像。
2、观察得到的图像不同。透射电镜可以观察样品内部结构,但是一般只能观察切成薄片后的二维图像,许多电子无法透过的较厚样品,只能用扫描电镜才能看到。扫描电镜主要用来直接观察样品表面的立体结构,图像富有立体感,但只能反映出样品的表面形貌,无法显示样品内部的详细结构。
3、成像原理不同。扫描电镜的成像原理是由电子枪产生的电子束经过三个磁透镜的作用,形成电子探针,经过透镜聚焦到样品表面上,也就是对样品扫描,然后把从样品表面发射出来的各种电子用探测器收集起来,并转变为电流信号经放大后再送到显像管转变成图像。