电子束作用物质产生的物理信号有哪些?常用于何种分析仪器?

Question

如题所述

Answer 1

电子束作用物质产生的物理信号有：
背散射电子：来自样品表面几百nm深度范围，其产额随原子序数增大而增多，可以用于形貌分析、成分分析（原子序数衬度）以及结构分析。
二次电子：来自表层5—10nm深度范围，对样品表面的状态十分敏感，能有效地反映样品表面的形貌。
吸收电子：与背散射电子的衬度互补，可以用于定性的微区成分分析。
透射电子：微区的厚度、成分和晶体结构决定其信号，可配合电子能量分析器进行微区成分分析。
俄歇电子：来自样品表面1—2nm范围，其平均自由程很小（<1nm），较深区域产生的俄歇电子向表面运动时必然会因碰撞损失能量而失去特征值的特点。