国家纯水标准为：GB1146.1-89至GB1146.11-89，目前，中国高纯水标准分为分为五个级别：Ⅰ级、Ⅱ级、Ⅲ级、Ⅳ级和Ⅴ级，该标准是参照ASTM电子级标准而制定的。
在工业纯水生产中，水质标准中规定的规格应以电子（微电子）元件（或材料）的生产工艺为依据。例如，一般认为引起电路性能损坏的微粒物质的尺寸是其线宽的1/5-1/10。然而，由于微电子技术的复杂性和影响产品质量的因素繁多。
目前，还没有一套完整的水质标准适用于某一种工艺试验回路的生产。随着电子水质标准的不断修订和高纯水分析领域的许多突破和发展，新仪器和分析方法的不断应用为净水工艺的发展创造了条件。
扩展资料：
工业纯水生产过程：
在工业纯水的生产过程中，通过电渗析、反渗透和离子交换树脂技术可以去除水中的阴离子和阳离子；通过超滤和膜过滤可以去除水中的颗粒物；水中的细菌主要通过添加药物或目前紫外线灯照射或臭氧消毒。TOC通常用活性炭和反渗透处理。
在高纯水的应用领域中，纯水的纯度直接关系到设备的性能、可靠性和阈值电压，导致材料的低击穿、缺陷和少数载流子寿命。因此，高纯水需要高纯度和高精度。
参考资料来源：百度百科-纯水
参考资料来源：百度百科-水质标准
根据《工业企业设计卫生标准》GBZ1-2010，工业纯水水质指标如下：
电阻率大于18.2兆欧（25摄氏度）；TOC（总有机碳）小于1至10 ppb，DO（溶解氧）小于1至10 ppb；颗粒（颗粒）：0.05微米小于200/L；离子含量大多小于20至50 ppt；细菌检测：无。
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工业纯水生产过程：
在工业纯水的生产过程中，通过电渗析、反渗透和离子交换树脂技术可以去除水中的阴离子和阳离子；通过超滤、膜过滤等技术可以去除水中的颗粒；水中的细菌主要通过我国目前主要采用加药或紫外线灯照射或臭氧消毒；TOC一般采用活性炭和反渗透处理。在高纯水的应用领域中，纯水的纯度直接关系到设备的性能、可靠性和阈值电压，导致材料的低击穿、缺陷和少数载流子寿命。因此，高纯水需要高纯度和高精度。
天然水中的溶解气体主要有O2、CO2、SO2和少量的CH4、氡、氯等，在高纯水的生产过程中，必须去除这些气体。为了有效去除杂质，在生产高纯水的过程中，添加了甲醛、过氧化氢、次氯酸钠等化学杀菌剂。这就是高纯水不能用作饮用水的原因之一。
纯水是指其水质是纯净的，不含任何杂质，是由单一物质的过氧化氢组成。有效避免各种病原体侵入人体，其优点是能有效、安全地向人体补充水分，溶解性强，与人体细胞有很强的亲和力，具有促进新陈代谢的作用。
是指经深度处理后，通过离子交换、反渗透、精滤等适当的物理处理方法产生的水。一般来说，在生产过程中，只有50%到75%的水源被利用。也就是说，一公斤自来水或地下水只能产生约0.4公斤纯水，其余的0.6公斤水不能用作饮用水，只能用于其他用途。
参考资料：百度百科—纯水
参考资料：百度百科—水质标准
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