secco腐蚀液是什么

如题所述

用机械减薄和氧化剥层法获得表层硅厚度约0.4μm的BESOI薄膜。对这种薄膜用Secco腐蚀液腐蚀并分析了缺陷种类,计量了缺陷密度。用波长为0.5145μm的激光Raman谱测量了BESOI薄膜和界面附近的应力密度。结果表明,该薄膜的主要缺陷为氧化层错,密度约1.8×103/cm2,总的缺陷密度为2.6×103/cm2,张应力密度δ≤5×103N/cm2。

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第1个回答  2012-02-24
重铬酸钾:水:氢氟酸=11g:250ml:500ml