电磁透镜的像差包括

Question

如题所述

Answer 1

电磁透镜像差包括几何像差和色差，其中几何像差是由透镜磁场几何上的缺陷所产生的，又分为球差和像散。

球差即球面像差，由磁透镜中心区和边沿区对电子折射能力不同引起，其中远离透镜主轴的电子比近轴区域运动的电子受到更强的偏转。球差是电子显微镜最主要的像差，它往往决定了显微镜的分辨率。减小球差可以通过减小CS(球差系数)和α(孔径半角)来实现，用小孔径成像时，可使球差明显减小。

象散是由于电磁透镜的周向磁场非旋转对称引起的。透镜制造精度差以及极靴、光阑的污染都能导致像散。可以通过引入一强度和方位都均可调节的矫正磁场进行补偿，这个产生矫正磁场的装置是消像散器。

色差是由于电磁透镜磁场对不同波长的电子的会聚能力不同而造成的。波长短、能量大的电子有较大焦距。由入射电子波长或能量非单一性造成的。稳定加速电压和透镜电流可减小色差。