多晶硅生产工艺流程如下:(1)粗硅粉碎的目的是______.分离SiHCl3(l)和SiCl4(l)的方法为______.(2)900℃以上,H2与SiHCl3发生如下反应:SiHCl3(g)+H2(g)?Si(s)+3HCl(g);△H>0,其平衡常数表达式为K=c3(HCl)c(SiHCl)×c(H2)c3(HCl)c(SiHCl)×c(H2).为提高还原时SiHCl3的转化率,可采取的措施有______.(3)该流程中可以循环使用的物质是______.(4)SiCl4与上述流程中的单质发生化合反应,可以制得SiHCl3,其化学方程式为______.
c3(HCl) |
c(SiHCl)×c(H2) |